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355nm紫外激光器工作原理

發(fā)布時間:2023/10/25


355nm紫外激光器通常是通過三倍頻技術(shù)(Third Harmonic Generation,THG)產(chǎn)生的,這種技術(shù)利用了非線性光學(xué)效應(yīng)來轉(zhuǎn)換激光的波長。具體的工作原理可以分為以下幾個步驟:

1. 基頻產(chǎn)生

首先,一個紅外激光器(通常是Nd:YAG或Nd:YVO4激光器)產(chǎn)生基頻激光,其波長通常在1064nm。

2. 頻率倍增

然后,基頻激光經(jīng)過一個非線性光學(xué)晶體(如KTP),在這里發(fā)生第二次諧波發(fā)生(Second Harmonic Generation,SHG),將激光波長減半,產(chǎn)生532nm的綠光。

3. 頻率和倍增

接下來,基頻激光和二倍頻激光一起進(jìn)入另一個非線性光學(xué)晶體(如LBO或BBO)。在這里,通過和頻過程(Sum Frequency Generation,SFG),將1064nm的紅外光和532nm的綠光相加,產(chǎn)生355nm的紫外光。

4. 輸出紫外光

最終,355nm的紫外光被輸出,可用于各種應(yīng)用,如材料加工、光刻、科學(xué)研究等。

這個過程需要非常精確的光學(xué)對準(zhǔn)和高質(zhì)量的非線性光學(xué)材料,因?yàn)榉蔷€性頻率轉(zhuǎn)換效率通常相對較低,且對波長轉(zhuǎn)換材料的要求很高。紫外激光器的輸出功率、光束質(zhì)量和穩(wěn)定性等參數(shù)取決于激光器和頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量。

關(guān)鍵詞: 355nm紫外激光器